1. PVD を利用したナノ粒子の製作
2. 高性能な貴金属触媒の開発
- ディーゼルエンジン用の三元触媒、燃料電池の陰極触媒
3. その他、ナノ粒子を応用して製品開発
- 抗菌糸、機能性プラスチック、飼料添加剤、抗菌フィルターなど

360 m2 (lab, office)
1. lab. scale vacuum system
- Fabrication of noble metal nano particle
2. semi-pilot vacuum system
- Fabrication of metal/oxide nano particle
- Pre/after heat treatment of support power or nanoparticle
3. After process system of nano particle
- Ultrasonic agitator, vacuum filtering system, vacuum oven

- 9 Employees
- 4 Researchers (博士級：3名, 学士級: 1名)
- Patent/System/Administration

• 規格

  1,800 x 3,000 x 2,300 (h)

• 生産量

  100 kg / batch

• 攪拌速度

  0 ~ 60 rpm

• 蒸着方式 (DC)

  300X100X10t mm

• 蒸着方式 (e-baem)

  150 mm

  4 set

• 拡散ポンプ

  22 inch

  2 set

• 規格

  1,500 (w) x 1,800 (l) x 2,000 (h)

• 生産量

  12kg / batch

• 攪拌速度

  10 ~ 40 rpm (VVVF Control)

• 蒸着方式 (DC)

  6 inch Cathode

  Target Size 基準

• 回転ポンプ

  1,500 ℓ/min

• 拡散ポンプ

  18 inch